18日科技日報記者從北京化工大學、江蘇博硯電子科技有限公司聯(lián)合召開的國家重點研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目推進會上獲悉，我國LCD制造用高端超純材料的關鍵技術取得重大突破，并已在宜興建成國內(nèi)首條年產(chǎn)1000噸黑色光阻示范生產(chǎn)線。這意味著，長期受國外壟斷的微電子高端材料開始走向國產(chǎn)化，并為我國微電子及相關產(chǎn)業(yè)走出依賴“困境”起到了重要的引領作用。 微電子產(chǎn)業(yè)是我國國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，也是重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。但是，在這個領域的核心技術、關鍵裝備與材料是我國產(chǎn)業(yè)的短腿，長期受到歐美、日本等國家和地區(qū)的壟斷與封鎖。江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健說：“有資料顯示，2017年我國進口芯片花費2072億美元。從材料來說，目前國內(nèi)自我供給僅占總需求的10%左右。”
北京化工大學理學院院長聶俊介紹，該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學品”是國家重點研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目，自去年啟動以來，通過產(chǎn)學研合作，突破了微電子加工用高端電子化學品超純化處理技術瓶頸，實現(xiàn)微電子加工用高感度光引發(fā)劑和弱堿顯影樹脂的結構設計及超純化規(guī)模制備，并將在國內(nèi)建成超純?nèi)谆X(7N級)、納米色漿、光阻材料生產(chǎn)線、建立光阻材料的性能評價平臺，實現(xiàn)從原材料至最終產(chǎn)品的自主配套。
